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マイクロンはEUVリソグラフィーへの移行を開始します

マイクロンはEUVリソグラフィーへの移行を開始します

アメリカのメモリーメーカーであるMicronは、米国だけでなく、日本、シンガポール、中国、台湾にも工場を持っています。それらの多くは、買収の一環としてMicronの一部になりました。 Computex 2022の期間中、アメリカのメーカーは、台湾の台中での生産を近代化し、今年末までに極紫外線(EUV)リソグラフィーを使用したDRAMメモリチップのより高度な生産プロセスへの移行を開始すると発表しました。

マイクロンは長い間、半導体製造技術をナノメートルで指定することをやめました。代わりに、1x、1zなど、10nmのマイクロ回路クラスに異なる指定が使用されています。現在、MicronのDRAMチップは、1α(アルファ)テクノロジーを使用してDUV(Deep Ultra Violet)パイプライン上に作成されています。これにより、10nmよりわずかに大きいサイズの半導体を作成できます。

来年から、ノード1β(ベータ版)に切り替える予定です。これを行うために、メーカーは深紫外線(DUV)ではなく、極端な、つまりEUVを使用します。これは、メーカーが公開した長期ロードマップから知られるようになりました。ノード1y(ガンマ)への移行を示します。これは、ノード1βでの新しいレベルのDRAM生産への移行の準備の始まりと見なすことができます。ノード1αから1βへの移行により、Micronはチップのパフォーマンスを40%向上させることができます。

将来、Micronは、新しいリソグラフィプロセスを使用するために他の工場の改造を開始する可能性が非常に高いです。


2022-05-31 11:21:52

著者: Vitalii Babkin

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